为了保持优良的结晶性能,提高制膜速度,除了要采用();()投入外,多数也采用导入电源频率为60MHz---100MHz的VHF带等离子体的CVD法。

时间:2022-11-07 04:17:15 所属题库:太阳能光伏发电技术题库

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