干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。

A . 离子、电子 B . 中性原子 C . 分子 D . 自由基

时间:2022-10-30 00:26:32 所属题库:电化学工程题库

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