干氧氧化法有一些优点,但同时它的缺点有()。

A . 生长出的二氧化硅中引入很多可动离子 B . 氧化的速度慢 C . 生长的二氧化硅缺陷多 D . 生长的二氧化硅薄膜钝化效果差

时间:2022-08-28 08:00:54 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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