为了解决中性束对注入均匀性的影响,可在系统中设有(),使离子束偏转后再达到靶室。

A . 磁分析器 B . 正交电磁场分析器 C . 静电偏转电极 D . 束流分析仪

时间:2022-10-15 10:36:10 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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