晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。

A . 除去光刻胶中剩余的溶剂 B . 增强光刻胶对晶片表面的附着力 C . 提高光刻胶的抗刻蚀能力 D . 有利于以后的去胶工序 E . 减少光刻胶的缺陷

时间:2022-09-21 01:44:40 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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