离子束的引出系统的间接引出系统中,阳极和插入电极之间形成一个离子密度较()的等离子体。

A . 低 B . 高 C . 均匀 D . 不均匀

时间:2022-09-09 01:17:43 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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