在硅料的腐蚀清洗过程中,为了减少硅料的消耗及降低反应速率,需添加()作为缓蚀剂。在硅料酸洗后,

在硅料的腐蚀清洗过程中,为了减少硅料的消耗及降低反应速率,需添加()作为缓蚀剂。在硅料酸洗后,虽然经过了漂洗和冲洗,但在硅料的表面或缝隙等仍有可能残留酸。如果直接干燥,残留酸会对硅料进行氧化,因此还需在酸洗后进行()。

时间:2023-07-01 04:42:12

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