简述常规热氧化办法制备SiO2介质薄膜的动力学过程,并...

简述常规热氧化办法制备SiO<sub>2</sub>介质薄膜的动力学过程,并说明在什么情况下氧化过程由反应控制或扩散控制。

时间:2024-04-21 10:14:45

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