7、气相分解法又称单一化合物热分解法。一般是对待分解的化合物或经前期预处理的中间化合物进行加热、蒸发、分解,得到目标物质的纳米颗粒。其原料通常是不容易挥发、蒸气压高、反应性高的有机硅、金属氯化物或其他化合物,如Fe(CO)5、SiH4、Si(NH)2、Si(OH)4,等。

时间:2024-03-30 17:15:25

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