根据激发源的不同,非晶硅薄膜的PECVD又可分为直流DC-PECVD、射频RF-PECVD、超高频VHF-PECVD及微波(MW-PECVD)等。以上方法中沉积速率最高的是()。

A.DC-PECVD B.RF-PECVD C.VHF-PECVD D.MW-PECVD

时间:2024-05-01 15:42:02

相似题目