下列有关曝光系统的说法正确的是()。

A . 投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高 B . 接触式的分辨率优于接近式 C . 接近式的分辨率受到衍射的影响 D . 投影式曝光系统中不会产生衍射现象 E . 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

时间:2022-09-14 06:24:15 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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