下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是()。

A . A.4HF+Si=SiF +2H ↑ B . B.CF +SiO ——→SiF +CO ↑ C . C.CF +SiO +O ——→SiF +CO ↑ D . D.SiO +4HF——→SiF +2H O

时间:2022-10-18 11:02:56 所属题库:太阳能光伏发电技术题库

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