按蒸发源加热方法的不同,真空蒸发工艺可分为:()蒸发、()蒸发、离子束蒸发等。

A . 电阻加热 B . 电子束 C . 蒸气原子

时间:2022-11-01 14:23:50 所属题库:半导体芯片制造中级工题库

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