真空镀膜室中的钟罩与底盘构成()。

A . 衬底加热器 B . 抽气系统 C . 真空室 D . 蒸气源加热器

时间:2022-09-29 19:15:58 所属题库:集成电路制造工艺员(三级)题库

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