光刻
对正性光刻来说,剩余不可溶解的光刻胶是掩膜版图案的准确复制。
在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。
试述光刻加工的主要阶段?
光刻胶的光学稳定通过()来完成的。
ULSI对光刻的要求
什么是光刻?光刻的主要流程有哪些?
光刻的主要工艺流程按照操作顺序是()。
如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶,则这种光刻胶为正胶。
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶?
光刻包括两种基本的工艺类型:负性光刻和(),两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同,前者是(),后者是()。
有光刻胶覆盖硅片的三个生产区域分别为光刻区、刻蚀区和扩散区。
光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处?
光刻的作用是什么?
什么是正光刻胶,负光刻胶?
若计划用图示中掩膜版上黑色区域在硅片上制作扩散区,光刻时需要使用哪种光刻胶?为什么?并简介光刻操作流程。https://assets.asklib.com/psource/2015122710254016668.jpg
光刻区使用黄色荧光灯照明的原因是,光刻胶只对特定波长的光线敏感,例如深紫外线和白光,而对黄光不敏感。
什么是负性光刻?正性光刻?
例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。
解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么?
3、哪个是表征光刻精度的性能指标,它不仅与光刻胶本身有关,还与光刻工艺条件和操作技术等因素有关()。
5、正性光刻胶与负性光刻胶的显影有什么不同?
16、光刻的工艺要求是: 。